将CPP膜经等离子体处理后，镭雕达因值测试不过关在放置不同时间后测量它的表面张力。经空气等离子体处理后CPP膜的表面张力随放置时间的延长而增大。表面张力随放置时间的延续而增加，表面能也必将随放置时间而有所变化。对于CPP来说，经空气处理电浆清洗机的时效变化与等离子体处理的时间关系不大。在最初的几个小时里表面能迅速下降，而后表面能下降幅度变缓，到放置24h后表面能就基本达到平衡状态，不再有大的变化。。
同时，镭雕达因值测量采用先进的工艺控制系统(APC)，根据曝光尺寸的变化动态调整光刻步骤得到了稳定一致的多晶硅栅特性尺寸。测量黄光处理后光学电阻的特征尺寸后，将其与目标值的差值反馈到多晶硅栅后续蚀刻的修整时间，称为前馈。这种反馈可以有效地消除黄光过程引起的光学电阻特征尺寸误差。
二、气体管道检查 利用气体品质流量控制器来准确测量机器的气体品质流量控制器，镭雕达因值测量并参考其（检）测值对设备的气体流量控制器进行校正。亦可参照同腔真空度检查，关闭总阀后检查显示O2、N2、CF4管路压力值，如发现数值有变化，用肥皂水喷洒在管路接口处观察，如有气泡，再更换接头恢复正常。
氢等离子体表面处理仪处理可以有效除去表层的碳污染，怎么增加五金镭雕达因值暴露在空气中30分钟后，发现经氢等离子体表面处理仪处理的碳化硅表层氧的含量能明显低于传统湿法清洗的表层，经氢等离子体表面处理仪处理的表层抗氧化能力显著提高，这就为制造欧姆接触和低界面态的MOS器件打下了良好的基础。。BGA器件的焊球往往都非常容易氧化，焊接后的BGA焊点不仅外观上不过关，其电性能和热性能也大打折扣。
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